墊片式過濾器是一種緊湊的全金屬過濾器，可適用于氣體分配系統(tǒng)中標(biāo)準(zhǔn)的 1/4 ″ ，3/8 ″和 1/2 ″ VCR 墊圈。

墊片式過濾器可用于保護(hù)敏感氣體組件

例如質(zhì)量流量控制器或閥門，在高達(dá) 400℃的應(yīng)用中免受顆粒損壞，延長其使用壽命，避免密封閥損壞造成泄露。

墊片式過濾器是防止污染的經(jīng)濟(jì)保障，可以避免對關(guān)鍵部件產(chǎn)生不利影響。

定制化服務(wù):

支持特定尺寸、規(guī)格和特殊氣體工況的需求;

恒歌VCR墊片式過濾器特點(diǎn)

1.整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

2.適用于高壓的系統(tǒng)管路

3.可以作為表面密封的過濾器，所以不需要能外的工作(切割/接管道用于過濾安裝)

3.耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

4.能有效阻隔微粒侵襲，守護(hù)敏感氣體組件

您的VCR過濾墊片可能會用到以下地方

1、半導(dǎo)體制造設(shè)備:光刻機(jī)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沅積(PVD)等設(shè)備的高純氣體管路連接

2、氣體控制面板(IGS):用于高純氣體管路中的顆粒過濾和密封

3、醫(yī)療設(shè)備:氣體輸送系統(tǒng)中的過濾與密封

4、工業(yè)氣體輸送系統(tǒng):確保高純度氣體在連接點(diǎn)處的潔凈和密封

5、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備:氣相色譜儀、質(zhì)譜儀等對氣體純度有嚴(yán)格要求的設(shè)備

半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜。