KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器_KF40 真空卡環(huán)
深圳恒歌大流量真空系統(tǒng)優(yōu)選 深圳恒歌KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器,以KF40真空卡環(huán)為連接核心,專為大流量氣體傳輸場景設計,適配中大型真空系統(tǒng)高效運行。
KF40 真空卡環(huán)連接口徑適配大流量需求,安裝便捷且密封性強,能快速與過濾器、真空管道對接,確保氣體傳輸穩(wěn)定。搭配過濾器可實現清潔、快速的回填過程,有效提升大流量場景下的產品產量與設備吞吐量,規(guī)范操作下產品完整性達 3.000.000 次循環(huán)。
核心產品特點
●?減少排氣湍流:大口徑流道設計,配合過濾器結構,降低排氣紊流;
●?適配多類氣體:兼容各類工藝氣體,滿足大流量氣體過濾需求;
●?潔凈全流程:卡環(huán)與過濾器均在潔凈室生產檢測,杜絕污染;
●?100% 完整性檢測:嚴格出廠測試,保障大流量場景下的可靠性。
應用上,適用于大型半導體設備接口(如大型 PVD、Epi 設備)及大型真空室(傳輸、工藝腔體)通風,尤其適合短時間傳遞大量氣體流的場合,為中大型真空系統(tǒng)提供穩(wěn)定保障。