半導(dǎo)體級(jí)終端氣體過(guò)濾器_大宗氫氣終端過(guò)濾器
在半導(dǎo)體制程的超高純工藝氣體在線過(guò)濾領(lǐng)域,BF 系列半導(dǎo)體級(jí)終端氣體過(guò)濾器無(wú)疑是行業(yè)標(biāo)桿。它專為嚴(yán)苛的超高純工藝氣體環(huán)境設(shè)計(jì),采用全 316L 不銹鋼精密打造,從材質(zhì)上就奠定了其卓越的耐腐蝕、耐高溫性能,完美適配高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境。?
其獨(dú)特的多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì),是實(shí)現(xiàn)高流通量與低阻損平衡的關(guān)鍵,既能保證氣體順暢通過(guò),又能高效攔截微粒,過(guò)濾精度高達(dá) 0.003μm,輕松滿足超高純工藝對(duì)氣體潔凈度的極致要求。?
產(chǎn)品核心特點(diǎn):?
●?全 316L 不銹鋼構(gòu)造,適配嚴(yán)苛環(huán)境?
●?高流通量低阻損,保障系統(tǒng)高效運(yùn)行?
●?0.003μm 超高精度,攔截細(xì)微雜質(zhì)?
●?耐受高溫高壓,適應(yīng)動(dòng)態(tài)工藝條件?
●?潔凈室全流程管控,確保無(wú)二次污染?
作為終端高純氣體過(guò)濾器的佼佼者,BF 系列經(jīng)過(guò) 100% 完整性測(cè)試和氨氣檢漏測(cè)試,為半導(dǎo)體制程中的超純特氣過(guò)濾提供了堅(jiān)實(shí)保障,是超高純工藝氣體過(guò)濾的理想之選。?